PLD臭氧发生器_MBE科研臭氧发生器_ALD臭氧发生器-北京林萃科技有限公司

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ALD臭氧发生器、 PLD臭氧发生器、臭氧检测仪、臭氧尾气分解器、
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北京林萃科技有限公司提供ALD臭氧发生器、PLD、MBE臭氧发生器，臭氧检测仪，臭氧尾气分解器。

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              P L D 臭 氧 发 生 器 _ M B E 科 研 臭 氧 发 生 器 _ A L D 臭 氧 发 生 器 北 京 林 萃 科 技 有 限 公 司 0 1 0 8 2 9 1 2 1 8 6 北 京 市 海 淀 区 S O C O 公 社 3 0 号 1 层 A L D 与 P L D 用 臭 氧 发 生 器  定 制 化 设 计 一 站 式 A L D 臭 氧 解 决 方 案  专 业 专 注 专 注 臭 氧 2 0 年  官 方 授 权 加 拿 大 A b s o l u t e 官 方 授 权 商 A L D 臭 氧 解 决 方 案 臭 氧 在 多 个 工 业 领 域 中 都 有 广 泛 的 应 用 ， 主 要 得 益 于 其 强 氧 化 性 和 还 原 能 力 。 
 臭 氧 的 典 型 应 用 包 括 原 子 层 沉 积 （ A L D ） 、 脉 冲 激 光 沉 积 （ P L D ） 、 化 学 气 相 沉 积 （ C V D ） 、 光 致 抗 蚀 剂 带 、 表 面 清 洗 、 污 染 物 去 除 、 表 面 处 理 和 氧 化 物 生 长 等 。 
 晶 片 清 洁 、 表 面 处 理 、 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 、 脉 冲 激 光 沉 积 （ P L D ） 、 化 学 气 相 沉 积 ( C V D ) 、 M B E 、 光 刻 胶 去 除 。 
 半 导 体 行 业 中 ， 臭 氧 同 样 扮 演 着 重 要 角 色 。 
 它 用 于 晶 片 的 清 洁 ， 去 除 制 造 过 程 中 产 生 的 杂 质 。 
 在 表 面 处 理 环 节 ， 臭 氧 能 够 去 除 表 面 残 留 的 有 机 物 ， 提 高 晶 片 的 质 量 和 性 能 。 
 化 学 气 相 沉 积 （ C V D ） 和 光 刻 胶 去 除 过 程 中 也 会 用 到 臭 氧 ， 以 确 保 沉 积 的 材 料 纯 净 无 杂 质 ， 并 且 光 刻 胶 能 够 完 全 去 除 ， 不 影 响 后 续 步 骤 。 
 产 品 介 绍 1 ） 高 浓 度 版 ： A T L H 3 0 ； 浓 度 高 、 超 纯 净 、 风 冷 ， 浓 度 可 达 2 2 % 2 ） 基 础 版 ： 3 S T 1 0 ； A L D 臭 氧 实 验 ， 臭 氧 浓 度 可 达 1 2 0 m g / L 3 ） 洁 净 板 ： 不 接 触 金 属 离 子 ， 洁 净 度 高 ， 臭 氧 浓 度 可 达 1 2 0 m g / L 4 ） 臭 氧 气 体 检 测 仪 ， 紫 外 、 双 光 路 ， 量 程 0 4 0 0 m g / L ， 其 他 量 程 可 选 ； 5 ） 臭 氧 尾 气 分 解 器 ， 可 分 解 高 浓 度 臭 氧 。 
 高 浓 度 版 臭 氧 发 生 器 ： A T L H 3 0 1 . 采 用 高 浓 度 、 超 纯 净 、 深 度 精 细 工 艺 的 臭 氧 实 现 技 术 是 该 发 生 器 实 现 的 基 础 。 
 臭 氧 被 电 子 工 业 用 于 形 成 C V D 及 A L D 薄 膜 、 氧 化 物 生 长 、 光 刻 胶 去 除 和 多 种 清 洁 应 用 。 
 2 . A t l a s H 系 列 发 生 器 能 够 产 生 高 浓 度 、 大 流 量 、 高 压 力 的 超 洁 净 臭 氧 气 体 ， 整 体 模 块 化 设 计 ， 结 构 紧 凑 ， C L D 操 作 便 捷 、 可 视 化 外 观 。 
 特 点 ： 1 ） 臭 氧 响 应 速 度 快 ， 臭 氧 浓 度 高 ， 浓 度 高 达 3 0 0 m g / L 以 上 ； 2 ） 臭 氧 输 出 压 力 1 5 3 5 p s i ， 其 他 范 围 可 选 ； 3 ） 气 体 流 量 0 . 1 3 s l m 使 用 ， 实 现 工 艺 应 用 灵 活 ； 4 ） 风 冷 型 ， 可 选 型 氮 气 掺 加 技 术 ； 5 ） 可 集 成 流 量 、 压 力 ， 臭 氧 检 测 等 各 类 相 关 仪 表 （ 可 选 ） ； 基 础 版 臭 氧 发 生 器 ： 3 S T 1 0 3 S T 1 0 （ 1 0 g / H ） 臭 氧 发 生 器 采 用 第 八 代 H Y E 电 晕 放 电 臭 氧 发 生 技 术 ， 使 用 钛 金 纳 米 石 英 材 料 ， 温 度 低 ， 浓 度 高 ， 耐 高 压 ， 耐 潮 湿 ， 抗 腐 蚀 性 强 。 
 产 品 可 以 在 不 同 环 境 条 件 下 稳 定 工 作 。 
 特 点 ： 1 ） 臭 氧 产 量 1 0 g / h ， 臭 氧 浓 度 2 0 1 2 0 m g / L 2 ） 高 校 科 研 单 位 使 用 众 多 3 ） 臭 氧 浓 度 稳 定 ， 浓 度 无 级 可 调 。 
 4 ） 进 气 口 1 / 4 接 头 ， V R C 接 头 。 
 内 部 管 路 耐 臭 氧 A L D 臭 氧 发 生 器 ： N A N O 1 5 i O z o n e ™ 诊 断 / 控 制 系 统 ， 旨 在 防 止 安 装 或 使 用 问 题 ， 如 不 正 确 的 气 体 压 力 ， 高 环 境 温 度 ， 淹 水 臭 氧 电 池 ， 接 线 / 电 压 问 题 等 。 
 L C D 屏 幕 将 允 许 触 摸 开 关 发 电 机 的 开 关 和 调 整 所 需 的 功 率 。 
 该 仪 器 配 有 4 2 0 m A / 0 1 0 V D C 远 程 控 制 输 入 ， 允 许 通 过 外 部 信 号 进 行 精 确 的 设 备 控 制 。 
 特 点 ： 1 ） 产 生 高 达 1 5 克 / 小 时 的 臭 氧 ， 尺 寸 为 5 . 2 5 “ x 5 ” x 1 5 . 5 “ ； 2 ） 臭 氧 浓 度 （ O 3 重 量 百 分 比 ） ： 5 1 0 % ， ； 3 ） 风 冷 型 、 体 积 小 ； 洁 净 版 臭 氧 发 生 器 ： L o n g e v i t y E X T 1 0 ( 1 0 g / h ) 1 . 长 寿 的 “ 全 数 字 ” N E O S ™ 技 术 和 高 纯 度 石 英 玻 璃 电 极 提 供 了 壮 观 （ 和 经 过 验 证 ） 的 纯 度 、 精 度 、 质 量 和 可 靠 性 。 
 特 点 ： 1 ） 双 石 英 结 构 ， 气 流 不 与 金 属 离 子 接 触 ， 洁 净 度 高 ； 2 ） 设 备 臭 氧 量 1 0 档 可 调 ， 浓 度 精 度 、 稳 定 ； 3 ） 可 调 8 0 种 浓 度 范 围 从 0 . 5 1 2 0 m g / L ； 4 ） 风 冷 型 、 体 积 小 ； 臭 氧 气 体 检 测 仪 臭 氧 气 体 浓 度 检 测 仪 采 用 紫 外 分 光 吸 收 原 理 ， 依 据 朗 伯 — 比 尔 定 律 ， 通 过 测 量 臭 氧 对 紫 外 光 吸 收 前 后 的 光 信 号 强 度 变 化 ， 由 此 计 算 出 当 前 臭 氧 浓 度 值 。 
 特 点 ： 1 ） 臭 氧 气 体 浓 度 检 测 仪 主 要 应 用 于 测 半 导 体 行 业 、 水 处 理 和 臭 氧 研 究 等 过 程 中 产 生 的 气 态 臭 氧 浓 度 ， 测 量 范 围 0 4 0 0 m g / L 。 
 2 ） 臭 氧 气 体 浓 度 检 测 仪 测 量 范 围 0 4 0 0 m g / L ， 其 他 量 程 可 选 ； 3 ） 数 据 显 示 稳 定 无 干 扰 ， 实 时 检 测 臭 氧 浓 度 。 
 ； 4 ） 自 动 校 零 ， 消 除 零 点 漂 移 臭 氧 发 生 器 案 例 L o n g e v i t y 洁 净 版 臭 氧 发 生 器 3 S T 1 0 臭 氧 发 生 器 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 1 0 0 g / h 臭 氧 发 生 器 使 用 现 场 T I T A N 1 0 0 臭 氧 发 生 器 使 用 现 场 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 L o n g e v i t y 洁 净 版 臭 氧 发 生 器 L o n g e v i t y 洁 净 版 臭 氧 发 生 器 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 A T L H 3 0 臭 氧 发 生 器 臭 氧 发 生 检 测 一 体 机 关 于 我 们 　 　 北 京 林 萃 环 保 科 技 有 限 公 司 ， 是 一 家 致 力 于 臭 氧 发 生 器 技 术 研 发 的 环 保 科 技 企 业 ， 目 前 已 经 开 发 有 半 导 体 用 臭 氧 发 生 器 、 臭 氧 气 体 分 析 仪 、 溶 解 臭 氧 分 析 仪 、 臭 氧 水 机 等 多 个 专 用 的 臭 氧 发 生 器 产 品 。 
 . . . C o p y r i g h t © 2 0 1 9 2 0 2 4 北 京 林 萃 环 保 科 技 有 限 公 司 电 话 ： 0 1 0 8 2 9 1 2 1 8 6 备 案 号 ： 京 I C P 备 2 0 2 0 0 4 4 3 8 5 号 7

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