集成微系统封装平台建成后将具备硅基微纳加工技术和系统封装技术，面向新型智能传感器和半导体器件开展研发和工程化技术研究，并重点部署了压电MEMS器件、高精度惯性MEMS器件、光学及红外MEMS器件、硅基III-V族器件以及先进集成封装等相关工艺。
更新时间：2025-04-29 直达：mspc.sinano.ac.cn
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